苏州B体育电子科技有限公司近日取得三项专利，涉及硅片烘干、上下抛动清洗及半导体硅片清洗方法。

实用新型专利：硅片高效烘干装置

证书号：第23608772号

实用新型名称：硅片高效烘干装置

专利权人：苏州B体育电子科技有限公司

地址：215000 江苏省苏州市工业园区江浦路41号1栋

发明人：李佳森、梁一凡、陈晨、张少阳

专利号：ZL202422955729.6

授权公告号：CN223623254U

专利申请日：2024年12月2日

授权公告日：2025年12月2日

实用新型专利：硅片上下抛动清洗装置

证书号：第23603610号

实用新型名称：硅片上下抛动清洗装置

专利权人：苏州B体育电子科技有限公司

地址：215000 江苏省苏州市工业园区江浦路41号1栋

发明人：李佳森、欧赵旺、陈晨、张少阳

专利号：ZL202422955719.2

授权公告号：CN223624935U

专利申请日：2024年12月2日

授权公告日：2025年12月2日

发明专利：半导体硅片清洗装置的清洗方法

证书号：第7487391号

发明名称：半导体硅片清洗装置的清洗方法

专利权人：苏州B体育电子科技有限公司

地址：215000 江苏省苏州市工业园区江浦路41号1栋

发明人：欧赵旺、李佳森、张少阳、陈晨

专利号：ZL202410750964.1

授权公告号：CN118321251B

专利申请日：2024年6月12日

授权公告日：
2024年11月1日

上述专利均由国家知识产权局依照《中华人民共和国专利法》审查后授予专利权，并予以公告。专利权自授权公告日起生效，专利权有效性及专利权人变更等法律信息，以专利登记簿记载为准。